サブミクロンデバイスI

サブミクロンデバイスI 電子材料シリーズ 小柳光正　著 丸善 ISBN 462103183 平成2年4月20日第2冊発行 ＭＯＳトランジスタ MOSFET 半導体デバイス 半導体 VLSI 本の保存状態は悪くないですが、裏表紙の裏面の横のページに、元持ち主の認印の押印あることをご了承下さい。 #サブミクロンデバイス #ＭＯＳトランジスタ MOSFET #半導体デバイス #小柳光正 #VLSI VLSIはサブミクロンの時代に入った。現在すでに開発研究も行われ、量産の開始も目前に迫っている。しかし、二次元効果や高電界化の問題、さらには、高集積化されたデバイスの信頼性の確保など、問題点は尽きない。 本書では、これらの問題を、ショートチャネルMOSトランジスタの動作原理より説き起こし、サブミクロンデバイスを基礎から本格的に解説しています。